武漢大學科研公共服務條件平臺聚焦離子束/電子束雙束電鏡（Helios 5 CX）已經安裝完畢，即日起對校內開放試運行，歡迎校內師生預約測試！
一、基本參數
1、聚焦離子束/電子束雙束電鏡（Helios 5 CX）
主要技術參數：
離子源種類（液態Ga離子源）、交叉點分辨率（4.0nm@30kV（采用首選統計法），2.5nm@30kV（采用選邊法））、加速電壓范圍（500V-30kV）、束流強度范圍（1pA-100nA）。
電子槍類型（肖特基場發射燈絲）、分辨率（最佳工作距離下：0.6nm@30kV STEM，0.6nm@15kV，0.9nm@1kV；交叉點分辨率：0.6nm@15kV，1.5nm@1kV）、交叉點工作距離（4-5nm）、加速電壓范圍（200V-30kV連續可調）、束流強度范圍（0.8pA-176nA）。
樣品室（內徑379mm）、樣品臺（五軸馬達驅動樣品臺，X/Y方向移動范圍110mm，Z方向移動范圍65mm，R（旋轉）＝360°，T（傾斜）＝-11°~+57°）。
2、附件配置：
冷凍傳輸系統（QUORUM PP3010）：
電鏡內冷臺溫度范圍（-190℃~室溫）、制備腔室冷臺溫度范圍（-190℃~+50℃）、冷凍腔室（溫度范圍+110℃至-185℃，可烘烤至+110℃，工作溫度范圍-15℃至-185℃）。
能譜儀（Oxford UltimMax170）：
能量分辨率（Mn Kα保證優于127eV@計數率130,000cps，F Kα保證優于64eV@計數率130,000cps，C Kα保證優于56eV@計數率130,000cps）、元素分析范圍（Be4-Cf98）。
陰極熒光系統（Gatan 450.P.WAR）：
CCD讀譜探頭（探測范圍200-1100nm）、入口/出口狹縫可調范圍（0.01mm-10mm連續可調）、光譜分辨率（<0.1nm@404.6nm）、分光光柵（1200l/mm@500nm，尺寸69mm×69mm）
二、應用領域
聚焦離子束/電子束雙束電鏡（Helios 5 CX）具有材料截面結構表征、透射電鏡樣品制備、三維斷層掃描等功能。本臺電鏡配備獨立的冷凍傳輸系統、能譜儀、電子背散射衍射附件、陰極熒光系統，可對不耐輻照樣品進行冷凍斷裂、沉積導電層后，再進行微觀結構分析以減少輻照損傷，還可在室溫下進行材料成分分析、物相鑒定、發光特性研究及缺陷雜質檢測等。
三、送樣須知
1、送樣請至少提前一周預約，并說明樣品類型及實驗條件。
2、冷凍掃描測試降溫及回溫需較長時間穩定，至少預約一天機時。
預約請登錄：https://facility.whu.edu.cn/
地點：武漢大學尖端科技樓101F
聯系人：胡老師 15623268602
